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瑞士萬通離子色譜應用-芯中有我--電子級硫酸

點擊次數(shù):2697  更新時間:2021-01-27

在復雜的芯片生產工藝中,硫酸也是*的試劑。

硅圓片在加工過程中,常常會被不同的雜質所沾污,硅圓片上不溶性固體顆?;蚪饘匐x子可能在微細電路之間導電,使之短路。鈉、鈣等堿金屬雜質也會融進氧化膜中,導致耐絕緣電壓下降。硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,塵埃顆粒會造成光刻缺陷,氧化層不平整,影響制版質量和等離子蝕刻工藝。

 

為了獲得高質量集成電路芯片,必須除去各種沾污物,這就需要使用非常純凈的化學試劑來清洗硅圓片。硫酸和過氧化氫可以按比例組成有強氧化性的SPM清洗液,將有機物氧化成CO2和H2O。它還可用于光刻過程中的濕法蝕刻去膠,借助于化學反應從硅圓片的表面除去固體物質,導致固體表面全部或局部溶解。

 

硫酸在此處的作用是消除晶圓上的各種雜質,那么其本身就不能做為污染源再引入雜質,因此該工藝對于硫酸本身純凈度的要求也相當高。1975年,美國的半導體設備與材料協(xié)會(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)首先為微電子工業(yè)配套的電子級化學品制定了統(tǒng)一標準(SEMI標準);1978年,德國的默克公司也制定了MOS標準。兩種標準對電子級化學品中金屬雜質和微粒(塵埃)的要求各有側重,分別適用于不同級別IC的制作要求。

 

到目前為止,中國還沒有電子級硫酸國家標準,現(xiàn)行的硫酸標準有GB/T 534-2014《工業(yè)硫酸》、HG/T 4559-2013《超凈高純硫酸》和HG/T 2692-2015《蓄電池用硫酸》均不適合電子級硫酸產品,中國的試劑企業(yè)一般將電子級硫酸劃分為低塵高純級、MOS級和BV-III級,其中BV-III級電子級硫酸的單項金屬雜質質量分數(shù)不超過1*10-8,相當于SEMI-C7標準。

 

瑞士萬通智能離子色譜系統(tǒng)和伏安極譜儀可以針對電子級硫酸中多種雜質進行檢測,瑞士制造,瑞士品質,滿足您的各種檢測需求。

 

離子色譜法測定電子級硫酸中F-含量

有機酸排斥柱可以分離F-,還可以不受PH的影響,而其它常規(guī)陰離子在排斥柱上無保留,。

有機酸排斥柱,淋洗液:0.5mmol/L 稀硫酸,流速:0.5ml/min。進樣體積20µL

 

離子色譜法測定電子級硫酸中陽離子含量

本實驗用雙閥切換結合氫氧根離子固相萃取柱(IC-OH)技術中和濃硫酸待測液中的氫離子。

樣品與加標疊加譜圖

分離柱:METROSEP C4-150; 淋洗液:1.7mMHNO3+0.7mM吡啶二羧酸的超純水溶液;六通閥A:定量環(huán)1.5 μL,六通閥B:定量環(huán)100μL;流速0.9mL/min。多思加液器(Dosino)加液速度1.0mL/min,把1.5μL樣品從閥A通過IC-OH柱轉移到閥B的體積為0.3mL。

 

伏安極譜法測定電子級硫酸中重金屬含量

已知體積及質量的樣品置于用硝酸浸泡過夜的燒杯中(樣品體積為4.7 mL,質量為8.5038 g),然后用優(yōu)級純的氨水調節(jié)pH至7,所得樣品后用超純水定容至100 mL。

采用pH 9.5 氨性緩沖液及丁二酮胍二鈉鹽溶液作為支持電解質

 

采用C14H23N3O10,硝酸鈉,醋酸鈉的混合溶液作為支持電解質

 

采用溴酸鉀,氫氧化鈉,三乙醇胺的混合溶液作為支持電解質

 

電子級試劑中雜質的檢測是一項十分重要又比較困難的工作,瑞士萬通可以提供多種解決方案,結果準確,儀器穩(wěn)定,自動化程度高。

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